1、直線運(yùn)動(dòng)定位精度檢測(cè)
直線運(yùn)動(dòng)定位精度一般都在機(jī)床和工作臺(tái)空載條件下進(jìn)行。按標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)化組織的規(guī)定(ISO標(biāo)準(zhǔn))，對(duì)數(shù)控機(jī)床的檢測(cè)，應(yīng)以激光測(cè)量為準(zhǔn)。在沒有激光干涉儀的情況下，對(duì)于一般用戶來說也可以用標(biāo)準(zhǔn)刻度尺，配以光學(xué)讀數(shù)顯微鏡進(jìn)行比較測(cè)量。但是，測(cè)量?jī)x器精度必須比被測(cè)的精度高1~2個(gè)等級(jí)。
為了反映出多次定位中的全部誤差，ISO標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定每一個(gè)定位點(diǎn)按五次測(cè)量數(shù)據(jù)算平均值和散差，散差帶構(gòu)成的定位點(diǎn)散差帶。
2、直線運(yùn)動(dòng)重復(fù)定位精度檢測(cè)
檢測(cè)用的儀器與檢測(cè)定位精度所用的相同。一般檢測(cè)方法是在靠近各坐標(biāo)行程中點(diǎn)及兩端的任意三個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量，每個(gè)位置用快速移動(dòng)定位，在相同條件下重復(fù)7次定位，測(cè)出停止位置數(shù)值并求出讀數(shù)差值。
3、直線運(yùn)動(dòng)的原點(diǎn)返回精度檢測(cè)
原點(diǎn)返回精度，實(shí)質(zhì)上是該坐標(biāo)軸上一個(gè)特殊點(diǎn)的重復(fù)定位精度，因此它的檢測(cè)方法完全與重復(fù)定位精度相同。
4、直線運(yùn)動(dòng)的反向誤差檢測(cè)
直線運(yùn)動(dòng)的反向誤差，也叫失動(dòng)量，它包括該坐標(biāo)軸進(jìn)給傳動(dòng)鏈上驅(qū)動(dòng)部位(如伺服電動(dòng)機(jī)、伺趿液壓馬達(dá)和步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等)的反向死區(qū)，各機(jī)械運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)副的反向間隙和彈性變形等誤差的綜合反映。誤差越大，則定位精度和重復(fù)定位精度也越低。
5、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度檢測(cè)
測(cè)量工具有標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺(tái)、角度多面體、圓光柵及平行光管(準(zhǔn)直儀)等，可根據(jù)具體情況選用。測(cè)量方法是使工作臺(tái)正向(或反向)轉(zhuǎn)一個(gè)角度并停止、鎖緊、定位，以此位置作為基準(zhǔn)，然后向同方向快速轉(zhuǎn)動(dòng)工作臺(tái)，每隔30鎖緊定位，進(jìn)行測(cè)量。
考慮干式變壓器到實(shí)際使用要求，一般對(duì)0、90、180、270等幾個(gè)直角等分點(diǎn)進(jìn)行重點(diǎn)測(cè)量，要求這些點(diǎn)的精度較其他角度位置提高一個(gè)等級(jí)。